PI -filmi küpsetamise ja kõvendamise peamised tehnilised punktid

Polüimiid (PI): omadused ja rakendused

Polüimiid (PI) on kõrgeim leegi aeglustamisreiting (UL -94), suurepärane elektriline isolatsioon, mehaaniline tugevus, keemiline stabiilsus, vananemiskindlus, kiirgustaluvus ja madal dielektriline kadu. Need omadused püsivad stabiilsena laias temperatuurivahemikus (-269 kraad kuni 400 kraadi), muutes selle erakordseks suure jõudlusega polümeeriks. PI-film on praegu kõige paremini toimiv isoleeriv materjal kogu maailmas, millel on ulatuslikud rakendused mikroelektroonika valdkonnas, sealhulgas::

Stressipuhverdavad katted ümberjagamiskihtide jaoks

Vormimisühendite adhesiooni suurendamine

Kaitsev passiveerimiskihid lõpetatud IC -del

Integreeritud vooluahelates metallkihtide vahel madalad eraldajad

Kiibitoode

Vahepalade dielektrikud

PI kantakse tavaliselt vedelas vormis ja seejärel kõvendatakse termiliselt kiledeks või kihtideks, et saavutada soovitud omadused. PI -kihtide pragude või värvimuutuse vältimiseks on kriitiline temperatuuri täpne ühtlus. Ühtne värv on eriti oluline komplekteerimisel kasutatavate mustrituvastussüsteemide jaoks, samas kui madala hapniku tase töötlemise ajal soodustab helgemaid materjale ja paremat adhesiooni.

Polüimiidi tüübid

Mittefotosendiv polüimiid

Valgustundlik ioonne polüimiid

Valgustundlik ester polüimiid

Mittefotosendiv polüimiid

Mittefotosendiv PI on kulutõhus ja hõlpsasti käsitsetav. Termilise kõvenemise käigus genereeritud kõrvalsaadused on vedelikud, mis tavaliselt ei ladesta töötlemiskambri seintele. PI eelkäija stabiilseks PI -kileks muundamiseks on täielikuks jämeerimiseks vajalik pikendatud küpsetamine kõrgetel temperatuuridel (umbes 250 kuni 450 kraadi). See protsess eemaldab ka valamislahusti, n-metüül -2- pürrolidooni (NMP) ja joondab polümeeriahelad optimaalse elektrilise ja mehaanilise jõudluse saavutamiseks.

Valgustundlik polüimiid

Võrreldes mittefotosetundliku PI-ga on valgustundlik PI eelis, kuna see välistab vajaduse fotoresisti järele, vähendades töötlemise etappide arvu. Mõned valgustundlikud eellased võivad siiski olla keerulised, et kõvenemise ajal täielikult lenduda, põhjustades kile kõrgema sisemise stressi võrreldes tavalise PI -ga.

Estripõhine valgustundlik PIon stabiilsem kui ioonitüübid, pikema säilivusajaga ja parema lahustuvusega paljastamata piirkondades. Nõuetekohase kõvendamise eesmärk on:

Täitke imidiseerimisprotsess

Optimeerige kile adhesiooni

Eemaldage jääk lahustid, gaasid ja valgustundlikud komponendid

Lahustite ja valgustundlike elementide efektiivne aurustumine tagab parema kontrolli imidiseerimisprotsessi üle. Halb kontroll võib põhjustada lokaliseeritud mehaanilisi stressi variatsioone vahvli lõikes, mõjutades kile adhesiooni negatiivselt. Lisaks võib hapnik keskkonnas PI -filmi tumendada.

Kui töötlemise ajal rakendatakse mitu PI kihti, on läbipaistvus ülioluline. Madala lähkega PI-kihid võivad varjata joondamismarkereid, raskendades mitmekihilist töötlemist. PI -kile järjepideva selguse tagamine on keeruka tootmise täpse joondamise jaoks hädavajalik.